![雷 射 微影](https://host.easylife.tw/files/Immersive%20Explorer.gif)
雷 射 微影
...微影技術,達到量產目的,在壓印過程中所使用之奈米模具扮演著關鍵角色。一般用來製作奈米模具的方式有許多種,如光學微影、電子束微影等技術,而其中雷射干涉微影技術 ...,本研究提出利用雷射干涉微影(LaserInterferenceLithography)進行NPSS之圖案定義,其中雷...
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這層光阻劑在曝光(一般是紫外線波長的準分子雷射)後可以被特定溶液(顯影液)溶解。使特定的光波穿過光掩膜照射在光阻上,可以對光阻進行選擇性照射(曝光)。然後 ...
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